Az UV lézereknek három fő típusa van.
Dióda pumpás szilárdtest lézer
Az első egy diódapumpás szilárdtest lézer (DPSS) Nd: YAG Q-Switch, amelyben duplikációs kristályok segítségével változtatják meg az 1064 nm-es infravörös hullámhosszt és kapcsolják át a 355 nm-es ultraibolya sugárzás hullámhosszára.
A sugár alakja Gauss-féle, így a folt kerek lesz, és az energia intenzitása a középponttól a széle felé fokozatosan csökken. A sugár 10 µm nagyságrendű foltokra fókuszálható.
Elvileg, mint minden szilárdtest-lézer, ezek az ultraibolya lézerek is érzékenyek a hőmérséklet-változásokra.
A műveletek nagy ismétlési sebessége és a nagyon kis terület, amelyen működnek, ezeket a lézereket a legalkalmasabbá teszik a mikromegmunkálásra.
Excimer lézer
Az UV lézer második típusa a gázlézer, az excimer lézer. Ennek a lézernek a hullámhossza a használt gázkeverék típusától függ, és 180 nm és 300 nm között van.
A keletkezett sugár nem kerek, hanem téglalap alakú, többé-kevésbé állandó intenzitáseloszlású. A maszkok speciális pontgeometriák létrehozására használhatók.
Fém gőzlézer
A harmadik típusú UV-lézer a fémgőzlézer. A rézgőzlézer a leggyakrabban használt, bár sok más fém gőzei is használhatók.
A rézgőzlézerek 511 nm és 578 nm hullámhosszú sugárzást generálnak. A sugár alakja Gauss-féle, ami a lézert ugyanarra az alkalmazási körre alkalmassá teszi, mint a szilárdtest ultraibolya lézer.